압흔검사장비

  자재(TCP)모니터링시스템

  TAB/PCB/COG Bonder

  장비성능향상솔루션

 

 

  HOME  >  제품정보


압흔 Inspection
System (TAB, COG, FOG)


소 개

압흔 Inspection System은

고해상도의 미분간섭 현미경을 이용하여

Auto-Bonding 장비에서 압착된 Glass의

압흔 개수, 강도, 분포, 길이 등을 측정하

자동으로 OK/ NG를 판별하는 System으로

귀사의 제품경쟁력과 생산효율을

한 층 더 향상시켜드립니다.

  

특 징

    -압흔과 부착 정도를 측정하여 불량을 즉시 판별.
    -전/후 공정장비와 연결되어 전 공정(Bonding)의 불량판정을 받은 Glass를 자동으로   
     배출하는 등 전 라인을 자동화시킴.
    -안정적인 Embedded OS를 채택한  Vision Controller 사용.
    -정확하고 독자적인 고속화상처리 알고리즘 사용.
    -압착흔적을 측정하는데 가장 적합한 미분간섭현미경 채택.
    -고해상도와 고속의 카메라를 이용하여 측정 정밀도와 처리속도를 높임.
    -측정된 수치, 결과 및 영상 등을 자동으로 기록.
    -GUI로 화면을 구성하여 사용자 조작의 편의성을 높임.
    -측정과정 및 결과를 사용자가 실시간으로 확인 가능.
    -COG/FOG 동시 측정 가능.
    -범퍼의 밝기가 달라도 모든 범퍼 내의 압흔 측정 가능.
    -고속의 Auto-Focus (0.5~0.7 sec).
    -위치 이동 중 이전 입력된 POINT 검사 기능.

Specification

Item

Specification

검사재질

Module
Particle Size

TAB / COG / FOG LCD
도전볼 직경 3
이상

검사 종류

Condutive
Particle

개수, 강도, 길이

Inspection
Position

Position Count

Max 100 (한 panel 당 검사 위치의 최대값,
              사양 변경 가능)

Region Count

Max 80    (한 검사 위치 당 검사하는 영역의 최대값,
               사양 변경 가능)

Accuracy

Conductive
Particle

X, Y Axis : ±1.2㎛
(같은 조건에서 여러 영상을 취득하였을 경우
         한 압흔의 위치 결과값의 오차)

반복도

Error 5%이하 (같은 조건에서 양불판정의 반복오차)

Process
Time

Conductive
Particle

0.1~0.2 (sec) (영상 취득 후 검사)

Auto Focus

0.5~0.8 (sec) (준비 시그널에서 초점을 잡는 시간)

Pre-Align

0.1~0.2 (sec)

Storage

Image

BMP / JPEG File

Result Value

Excel Flie

Align 검사

Panel 측정용

0.87㎛ /pixel  (Accuracy : ±0.3㎛  이하)

Chip 측정용

1.75 /pixel  (Accuracy : ±0.5㎛  이하)

  Vision System 구성

1>Vision Controller  :  카메라로부터 입력된 영상을 이용하여 압흔 Inspection, Auto Focus,
                            Motor 제어,  조명 제어를 하는 등  시스템의 전반적인 Control.
2>LCD Monitor : GUI를 이용한  System 상황 Display,  사용자의  Input 처리.
3>Camera #1  :  압흔 검사용 CCD Camera.
4>Camera #2  :  Auto-Focus 용  CCD Camera.
5>미분간섭현미경  : 고배율 Lens (5x) 와 Analyzer, DIC Prism, Polarize 등의 Filter를  
                          장착하여 압흔 측정에  최적화된 영상을 제공하는 현미경.
6>LED 조명 Source :  밝기조절이 가능한 조명 Source. 검사 위치별 자동 조명 조절.
7>Z Axis   : Auto-Focus를 위한 위치 이동.


검사 SAMPLE

   TAB (17”, pitch 0.05mm LCD)

img1.gif

(검사전)

img2.gif

(검사후)

  COG (1.9”, pitch 0.03mm LCD)

img3.gif

(검사전)

img4.gif

(검사후)

  FOG (1.9”, pitch 0.03mm LCD)

img5.gif

(검사전)

img6.gif

(검사후)

효 과
  
생산성 향상 및 원가 절감으로 시장 경쟁력 증대.
  LCD / PDP TAB Bonder에도 적용.

 관련특허
  
이방성 도전 필름용 압흔 검사장치 (특허번호 제059470호).
  이방성 도전 필름의 압흔 검사방법 (특허번호 제 10-0570276호).